大廠3奈米步量產 家登歡呼

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雖然半導體生產鏈庫存去化持續進行,但先進製程推進時程並未放緩,包括臺積電、三星、英特爾等3奈米將逐步進入量產,而關鍵的極紫外光(EUV)曝光機亦需升級至NXE:3600D。

由於新曝光機臺搭配的極紫外光罩盒(EUV Pod)必須全面升級至第二代(phase 2),家登(3680)已率先完成認證,不僅下半年開始放量出貨,且平均銷售價格(ASP)較前代提高10~15%。

雖然2023年半導體市場能見度低且不確定性高,庫存去化最快要等到第二季才能解決,但包括臺積電、英特爾、三星、SK海力士、美光等全球前五大半導體廠仍積極投資EUV產能。而在先進邏輯製程部分,今年3奈米進入量產階段,最新曝光機NXE:3600D已全面導入生產,在每平方公分30毫焦耳(mJ)的光源輻照能量情況下,每小時晶圓產出已達160片,較上一代機型提升18%。

設備業者說明,3奈米制程已進入量產階段,新一代微影曝光機NXE:3600D需要更換全新的第二代EUV Pod,全部的EUV Pod都需要升級。

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法人表示,家登第二代EUV Pod已獲艾司摩爾(ASML)認證,下半年將開始量產出貨,且新款EUV Pod價格較上代提高10~15%,有助於家登營運更上層樓。

而ASML日前說明EUV技術及曝光機技術藍圖,以目前主流的0.33數值孔徑(NA)來說,2021年晶圓代工5奈米制程每片晶圓平均光罩層約逾10層,但2023年製程進入3奈米之後,每片晶圓平均光罩層約將倍增達20層,可望帶動EUV Pod需求明顯增加,法人預期家登約8成市佔率將帶來顯著成長動能。

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家登公告今年1月因農曆春節導致工作天數減少,單月營收降至3.14億元,較去年同期減少6.9%,若扣除去年第二季出售的吳江新創汽車營收,則1月營收較去年同期呈現年增。以家登在手訂單來看,預期第一季營收會逐月成長,全年營運亦會逐季成長,對今年營運維持樂觀看法。

法人表示,家登EUV Pod產品通過認證,新產品出貨比重拉高有助提升整體ASP,加上前開式晶圓傳送盒(FOUP)接單暢旺,看好家登今年光罩載具市佔提升至八成,晶圓載具市佔提升至五成,自動化設備市佔提升至1成,樂觀預估未來三年營收年複合成長率可達20%。家登不評論法人預估財務數字。

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